Sputteranlage (SPA001) Aurion Anlagentechnik B-VPA-28

Beschreibung

SN: 302343, Eigengewicht ca. 7.000 kg, Temp. max. 25° C, Anschlussleistung 100 kVA, mobiler Portalkran, Fabr. Schilling, Tragfähigkeit 1.000 kg, Elektro-Kettenzug, Krantraverse, Abmessungen ohne Vakuumpumpen 6217 x 3500 x 2100 mm (B x T x H); Gewicht ca. 7000 kg; Kammervolumen ca. 670 l; Netzanschluss 400/230 V, 50 Hz, ca. 100 kVA, ca. 125 A; Substrat 38 x 31 x 1,08 mm, Transportpaletten 416,9 x 504,5 mm für je 144 Substrate; Substratheizung bis 250 °C; Enddruck < 1x10^-7 hPa; Prozessgas Argon, 2 Flussregler Bronkhorst F-201CS je 500 mln/min; 2 DC-Generatoren ADL GX 150/800 je 15 kW; Vakuumpumpen Pfeiffer Vacuum: 4x DUO 35, 2x DUO 65, 2x Wälzkolbenpumpe Okta 500, 3x Turbopumpe HiPace 1200 U, 1x HiPace 2300 U; Ventile VAT; Steuerung Siemens SIMATIC S7 mit Panel-PC und WinCC.

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