AIXTRON / Thomas Swan Komplettes MOCVD-Epitaxie-Produktionspaket inkl. Abgasreinigung (demontiert und eingelagert)

Beschreibung

Ein hochleistungsfähiges Anlagenpaket für die Halbleiterfertigung, das speziell für das Wachstum von GaN/(Al,Ga, In) N-basierten Materialien ausgelegt ist. Diese Position umfasst zwei vollausgestattete Close Coupled Showerhead (CCS) MOCVD-Systeme des renommierten Herstellers AIXTRON / Thomas Swan sowie ein exakt darauf abgestimmtes, hochsicheres Abgasreinigungssystem der CS Clean Systems AG. Ideal für den sofortigen Ausbau von R&D- oder Massenproduktionskapazitäten. Bestandteile dieser Position: 1. AIXTRON / Thomas Swan CCS MOCVD System (19x2 Substrate) Bj. verm. 2005 Späteres Upgrade CS68530 GaN to InP Seriennummern nach Upgrade CS13834 Reaktorkapazität: Zeitgleiche Abscheidung auf 19 Substraten à 2 Zoll. Heizsystem: 3-Zonen-Wolframheizer mit SiC-beschichtetem Graphit-Suszeptor für Oberflächentemperaturen bis zu 1300 °C. Prozesskontrolle: 5 optische Fenster, inklusive Vorbereitung für einen in-situ EpiCurve Wafer-Wölbungssensor. Ausgestattet mit dem in-situ Monitor Epi-TT für emissionskorrigierte Pyrometrie (950 nm) und Echtzeitmessung der Wachstumsrate. Infrastruktur: Integriert in eine doppelseitige Glovebox mit N2-Zirkulation. 2. AIXTRON / Thomas Swan Scientific Equipment CCS IC Reaktor für die Abscheidung von 30x2“ Substraten Bj. verm. 09/2008 Reaktorkapazität: Hochdurchsatz-Reaktor für die Abscheidung auf 30 Substraten à 2 Zoll bei bis zu 1200 °C. Reaktordesign: Zweifachplenum Showerhead Injektor mit Querstrom-Wasserkühlung und 6 optischen Öffnungen. Umgebung: Eigene Glovebox für eine vollständig inerte Reaktor-Umgebung (Feuchtelevel < 1ppm) mit integrierter Zirkulations- und Regenerationseinheit sowie Sensoren für H2, O2, und Feuchte. Steuerung: Modernes ControlLogix® PLC-System mit AIXACT® Prozesskontrollsoftware für umfassendes Rezeptmanagement und Datalogging. 3. CS Clean Systems Abgasreinigung & Extractor Dilutor (Modell ED500/2) Systemaufbau: Dediziertes Dual-Scrubber System (CATGaN) zur simultanen Behandlung der Abgase beider MOCVD-Reaktoren. Sicherheit: Das nachgeschaltete Extractor-Dilutor System verdünnt die anfallende Wasserstoffkonzentration sicher auf unter 25 % der unteren Explosionsgrenze (LEL). Ausstattung: Vier integrierte Gasringvakuumpumpen (je 300 m³/h Saugvermögen) gewährleisten höchste Ausfallsicherheit. Die Anlage ist ATEX T3 konform. Die Anlagen werden im Zustand wie vorhanden und besichtigt verwertet. Der Verkauf erfolgt ausschließlich innerhalb der EU: Ein Weiterverkauf durch den Käufer richtet sich nach der VERORDNUNG (EU) 2021/821 DES EUROPÄISCHEN PARLAMENTS UND DES RATES vom 20. Mai 2021 über eine Unionsregelung für die Kontrolle der Ausfuhr, der Vermittlung, der technischen Unterstützung der Durchfuhr und der Verbringung betreffend Güter mit doppeltem Verwendungszweck https://eur-lex.europa.eu/legal-content/DE/TXT/PDF/?uri=CELEX:32021R0821 Kategorie: Sonstiges

Standort auf der KarteWir übernehmen keine Haftung für die Richtigkeit der Angaben (Preise oder andere Daten), da wir ein Aggregator sind und keine Live-Daten haben. Die Daten können veraltet oder falsch sein. Um verbindliche Daten zu sehen, nutzen Sie bitte den 'Hier geht's zum Bieten'-Button des Auktionshauses.

Der Auktionspreis weicht vom reinen Gebotswert ab, da Käuferaufgelder und Mehrwertsteuern anfallen. Simulieren Sie hier Ihr Wunschgebot:

Hinweis zur Berechnung: Die Standard-Aufschläge betragen 18 % Käuferaufgeld und 19 % MwSt. Dies deckt die meisten Auktionshäuser ab. Die genauen Gebühren und Befreiungen (z.B. Export) müssen Sie direkt beim jeweiligen Auktionshaus prüfen.